SpecEl 橢偏儀
SpecEl橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,進(jìn)而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實(shí)現(xiàn)折射率,吸光率及膜厚的測量。
技術(shù)參數(shù)
波長范圍: |
380-780 nm (標(biāo)準(zhǔn)) 或450-900 nm (可選) |
光學(xué)分辨率 |
4.0 nm FWHM |
測量精度 |
厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
入射角 |
70° |
膜厚 |
單透明膜1-5000 nm |
光點(diǎn)尺寸 |
2 mm x 4 mm (標(biāo)準(zhǔn)) 或 200 μm x 400 μm (可選) |
采樣時間 |
3-15s (小) |
動態(tài)記錄 |
3 seconds |
膜層數(shù) |
至多32層 |
參考 |
不需要 |